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Photo 國立臺灣大學貴重儀器中心
場發射鎗掃描式電子顯微鏡暨能量分散光譜儀(工學院)
Photo 國立清華大學貴重儀器使用中心
高性能液相層析串聯質譜儀
Photo 國立臺灣科技大學貴重儀器共用計畫
高解析度場發射掃描式電子顯微鏡
Photo 國立臺灣科技大學貴重儀器共用計畫
高解析度場發射掃描式電子顯微鏡
Photo 國立臺灣科技大學貴重儀器共用計畫
高解析度場發射掃描式電子顯微鏡
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  • Information of Instrument Center
Instrument Name (Chinese) : 場發射電子顯微鏡
Instrument Name(English) : JEOL JSM-6330F EM
Abbreviation of the Instrument : FEGSEM
Instrument Webpage :www.nscric.nthu.edu.tw
Instrument Location : 工程與系統科學系舊館318E室
Professor in Charge (A)(Chinese): 陳福榮
Professor in Charge (A)(English):
Telephone of Professor in Charge (A) : (03)5715131#62249
Professor in Charge (B)(Chinese):
Professor in Charge (B)(English):
Telephone of Professor in Charge (B) :
Technician(Chinese): 林泉融
Technician(English): Chuanjung  Lin
Telephone of Technician : (03)5715131ext34313
Instrument Description : [儀器購置年月]:1999年12月,[加入貴儀年月]:2000年4月,[儀器經費來源]:清華大學、國科會,[廠牌及型號]:日本 JEOL,JSM-6330F,[重要規格]:加速電壓= 0.5kv ~ 30kv,電子光源= 冷陰極場發射電子槍,放大倍率= x10 ~x500k SEI,解析度= 1.5 nm(at 15kv)、 5.0 nm(at 1kv),自動功能= 對焦、像差修正、明亮、對比。樣品台= X=50mm, Y=70mm, Z=4,8,15,25,39mm, Z(Fine)= -2mm to 2mm, Tilt angle= -50 to +600,Rotation angle: 3600 endless(motor driven),試片載台= 12.5(dia.)x10(H)mm, 32.0(dia.)x20(H)mm,[主要附件]:EDX(化學元素定性、定量和分佈影像分析),真空鍍金器。[儀器性能]:FEG-SEM 比較傳統 SEM,在光源(FEG)和透鏡系統的改良,可有更佳的表面形貌影像分辨率,加上 EDX 附件可作微區成份分佈的分析。
Name of Center:國立清華大學貴重儀器使用中心
Region of IC Location: North
Website of IC:http://www.nscric.nthu.edu.tw
Person in Charge:林俊成
Names of Administrative Staff:呂季娟
Center’s Telephone:03-5715131轉35406
Center’s Mailing Address:新竹市光復路2段101號化學館124室
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